位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
Micro-electro-mechanical digital-to-analog converter based on a novel Bimorph thermal actuator
  • 所属机构名称：东南大学
  • 会议名称：Proc. First IEEE Int. Conf. Sensors, Florid
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
作者： 刘清惓|黄庆安|
同会议论文项目
表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
期刊论文 7 会议论文 4
同项目会议论文
Micromachined variable capacitor with laterally positioned suspended plates
权间隙微机械数模转换器
Laterally-driven variable capacitor for displacement measurement of microactuators