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Fabrication of multilayer laminar grating with high efficiency for extreme ultraviolet
  • 所属机构名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 会议名称：SPIE
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：极紫外多层膜闪耀光栅制备方法研究
作者： 张立超|金春水|周洪军|霍同林|林慧|
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