位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
Broadband multilayer gratings—a novel application for non-periodic multilayer coatings for EUV range
  • 所属机构名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 会议名称：The International Conference on Optical Thin Film and Coating Technology
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：极紫外多层膜闪耀光栅制备方法研究
作者： 张立超|金春水|
同会议论文项目
极紫外多层膜闪耀光栅制备方法研究
期刊论文 9 会议论文 3
同项目会议论文
Fabrication of multilayer laminar grating with high efficiency for extreme ultraviolet
极紫外波段正入射多层膜衍射光栅的研制