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Investigation of novel junctionless MOSFETs for technology node beyond 22 nm
  • 所属机构名称：复旦大学
  • 会议名称：China Semiconductor Technology International Conference 2012, CSTIC 2012
  • 时间：2012
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：超薄可控金属硅化物的形成工艺及机理研究
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超薄可控金属硅化物的形成工艺及机理研究
期刊论文 22 会议论文 4
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