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Modeling of 3-D trench structures with corrected effective medium approximation for model-based infr
  • 所属机构名称:华中科技大学
  • 会议名称:2010 3rd International Nanoelectronics Conference, INEC 2010
  • 成果类型:会议
  • 会场:Hongkong, China
  • 相关项目:高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究
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