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含硅类金刚石膜的研究进展
  • 所属机构名称：北京交通大学
  • 会议名称：第七届中国功能材料及其应用学术会议
  • 成果类型：会议
  • 会场：中国湖南长沙
  • 相关项目：硅含量对无定形碳化硅薄膜的结构和摩擦学性能的影响
作者： 兰惠清|王洋|刘璨|
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期刊论文 26 会议论文 8 专利 1
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