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Effect on surface roughness of zerodur material in atmospheric pressure plasma jet processing
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 会议名称:5th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Advanced Opt
  • 成果类型:会议
  • 会场:Dalian, China
  • 相关项目:常压射频反应等离子体抛光机理研究
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