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Focused-ion-beam introduced stress as a driving force for micro/nano-fabrication
  • 所属机构名称：北京大学
  • 会议名称：The 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
  • 成果类型：会议
  • 会场：Xiamen
  • 相关项目：基于聚焦离子束应力引入技术的三维纳米结构成型方法及理论研究
作者： Wu, Wengang|
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