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Suspended nanoscale solenoid metal inductor with tens-nH level inductance
  • 所属机构名称：北京大学
  • 会议名称：21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2008 Tucson
  • 成果类型：会议
  • 会场：Tucson, AZ, United states
  • 相关项目：基于聚焦离子束应力引入技术的三维纳米结构成型方法及理论研究
作者： Xu, Z.G.|Lai, X.H.|Hao, Y.L.|Wu, W.G.|Xu, J.|Ding, F.|
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