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A fully CMOS-compatible micro-pirani gauge based on a constant current
  • 所属机构名称：中国科学院声学研究所
  • 会议名称：22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009
  • 成果类型：会议
  • 会场：Sorrento, Italy
  • 相关项目：硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究
作者： Wang, Jiaqi|Tang, Zhenan|
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