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Electrical Properties Study of Ni (Pt)-silicide/Si Contacts
所属机构名称:复旦大学
会议名称:第八届国际固态与集成电路技术大会(ICSICT-2006),2006年10月23-26日,上海。国际会议,口头报告。
成果类型:会议
相关项目:纳米CMOS器件源漏新型低接触电阻材料和工艺研究
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