Internal friction studies of nanocomposite superhard nc-TiN/a-Si3N4 and nc-(Ti1-xAlx)N/(-Si3N4 films
- 所属机构名称:中国科学院合肥物质科学研究院
- 会议名称:The 14th International Conference on Internal Friction and Mechanical Spectroscopy (4-9 September, 2
- 语言:英文
- 成果类型:会议
- 相关项目:新型纳米复合超硬薄膜中界面及微裂纹的动力学行为研究