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反应磁控溅射法制备的nc-TiN/a-Si3N4薄膜的杨氏模量和内耗
  • 所属机构名称：中国科学院合肥物质科学研究院
  • 会议名称：第7届全国内耗与超声衰减学术会议论文集,
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：新型纳米复合超硬薄膜中界面及微裂纹的动力学行为研究
作者： 李朝升|王先平|方前锋|S. Veprek|李世直|
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