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中文摘要：
研究氧化物及氮化物纳米复合超硬簿膜的微观结构及物性，为其广泛应用提供实验和理论基础。一方面采用溶胶一凝胶和磁控溅射等方法制备超硬薄膜，进行比较研究；另一方面通过测量内耗及模量的温度谱及其振幅效应，结合微观分析和观察手段，研究超硬薄膜的界面存在状态及弛豫运动过程，考察微裂纹的产生及扩展规律，从而探明材料超硬的物理本质。
结论摘要：
英文主题词Superhard films; TiN/Si3N4; MoCN; Interface; Relaxation
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