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等离子体表面低温活化对晶圆键合的影响
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：第七届全国SOI技术研讨会， 2007年5月，无锡
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：类金刚石薄膜为绝缘埋层的SOI新材料研究
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