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用扰动有限元计算考虑工艺变化的集成电路互连线寄生电容
  • 所属机构名称：中国科学院电工研究所
  • 会议名称：2011 2nd International Conference on Advanced Measurement and Test
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：随机有限元在集成电路互连线寄生参数提取中的应用研究
作者： 屈慧|徐小宇|任卓翔|
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