位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
FABRICATION OF NANOPILLARS BASED ON SILICON OXIDE NANOPATTERNS SYNTHESIZED IN OXYGEN PLASMA REMOVAL
  • 所属机构名称：北京大学
  • 会议名称：MEMS2009, pp677-680, Jan.2009,
  • 成果类型：会议
  • 会场：Sorrento, Italy
  • 相关项目：纳米尺度下DRIE理论与实验研究及其在微纳复合加工中的应用
作者： Haixia Zhang|Di Wu|Wengang Wu|Jun Xu|Yilong Hao|Haiyang Mao|
同会议论文项目
纳米尺度下DRIE理论与实验研究及其在微纳复合加工中的应用
期刊论文 1 会议论文 4 专利 1 著作 1
同项目会议论文
Integrated 3-D Simulation Tool for Micro and Nano Fabrication
FABRICATION OF MICRO/NANO DUAL STRUCTURES BY AN IMPROVED DRIE PROCESS
激光退火 SiC MEMS 谐振器自选择性的 ANSYS 仿真