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激光退火 SiC MEMS 谐振器自选择性的 ANSYS 仿真
  • 所属机构名称：北京大学
  • 会议名称：中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
  • 成果类型：会议
  • 会场：哈尔滨
  • 相关项目：纳米尺度下DRIE理论与实验研究及其在微纳复合加工中的应用
作者： 唐伟|陈哲|何思明|张海霞|赵新|
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