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双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究
  • ISSN号：0254-3087
  • 所属机构名称：浙江理工大学
  • 会议名称：仪器仪表学报
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：浙江理工大学
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于合成波长条纹细分原理的纳米测量方法研究
作者： 陈本永|周砚江|李达成|
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