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Progress in large-range and nanoscale micromotion stage
  • ISSN号：0277-786X
  • 所属机构名称：浙江理工大学
  • 会议名称：Proc. of SPIE,
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：浙江理工大学
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于合成波长条纹细分原理的纳米测量方法研究
作者： Chen Benyong|Wang Junru|Yong Lei|
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