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在线低能气体离子源
  • 所属机构名称：武汉大学
  • 会议名称：第二届全国核技术及应用研究学术研讨会
  • 成果类型：会议
  • 会场：中国四川绵阳
  • 相关项目：用加速器-电镜联机装置原位研究离子注入制备Si基稀磁半导体的动态过程
作者： 靳硕学|刘实|杨铮|刘传胜|郭立平|周霖|黎明|彭国良|巨新|
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用加速器-电镜联机装置原位研究离子注入制备Si基稀磁半导体的动态过程
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