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快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响研究
  • 期刊名称：光电子·激光,19(10), 1358-1360, 2008
  • 时间：0
  • 相关项目：金属硅熔体的化学、物理提纯机理和廉价太阳电池多晶硅片的制备
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