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拥有柔性设计流程的微机电系统设计工具
  • ISSN号:0946-7076
  • 期刊名称:Microsystem Technologies-Micro-And Nanosystems-Inf
  • 时间:0
  • 页码:775-785
  • 语言:英文
  • 相关项目:高精度微机械陀螺的“虚拟/灵巧”实现方法
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