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基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
  • ISSN号:1008-973X
  • 期刊名称:《浙江大学学报:工学版》
  • 时间:0
  • 分类:TH741.13[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构:[1]浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州310027
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(60708013); 中国博士后科学基金资助项目(20081463)
中文摘要:

采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450~900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.

英文摘要:

A fiber-optic spectrometer was employed for recording spectral interferograms over a wide wavelength range (450 ~ 900 nm).A new method was presented for retrieving the wrapped phase function by the envelope method.The unwrapped phase was obtained by a simple procedure based on linear dependence of optical path difference between interferometer beams on the refractive index of optical elements.The effective thickness of the beam splitter was given by the slope of the linear dependence,and the absolute distance was determined by the intercept.The method was applied to measure the distances when displacing mirror to different positions.The measured results deviated less than 1% from those of vernier caliper and presented a linearity of 99.9%.The thickness of a BK7 glass plate was also measured.An accuracy of 0.21% was obtained compared with other methods.The reasons that affected the measurement accuracy were analyzed,and the range of measurable distance was discussed.

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期刊信息
  • 《浙江大学学报:工学版》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:教育部
  • 主办单位:浙江大学
  • 主编:岑可法
  • 地址:杭州市浙大路38号
  • 邮编:310027
  • 邮箱:xbgkb@zju.edu.cn
  • 电话:0571-87952273
  • 国际标准刊号:ISSN:1008-973X
  • 国内统一刊号:ISSN:33-1245/T
  • 邮发代号:32-40
  • 获奖情况:
  • 2000年获浙江省科技期刊质量评比二等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),波兰哥白尼索引,德国数学文摘,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:21198