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A novel micro electric field sensor with X-Y dual axissensitive differential structure
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间:2015.6.15
  • 页码:1-7
  • 相关项目:单片集成旋转谐振式微型三维电场传感器研究
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