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An Experimental Study of Ultrasonic Vibration-assisted Grinding of Polysilicon Using Two-Dimensional
  • ISSN号：0268-3768
  • 期刊名称：International Journal of Advanced Manufacturing Te
  • 时间：0
  • 页码：941-947
  • 相关项目：单晶硅微细沟槽织构化表面的微磨削加工理论及实验研究
作者： Y. Peng(彭云峰)|Y. Wu|Z. Liang(梁志强)|Y. Guo(郭隐彪)|
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