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Design, Fabrication and Levitation Experiments of a Micromachined Electrostatically Suspended Six-Ax
  • ISSN号：1424-8220
  • 期刊名称：Sensors
  • 时间：2011.12.12
  • 页码：11206-11234
  • 相关项目：超磁致伸缩固体振子MEMS微陀螺的研究
作者： Cui, Feng|Liu, Wu|Chen, Wenyuan|Zhang, Weiping|Wu, Xiaosheng|
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