位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Hybrid microfabrication and 5-DOF levitation of micromachined electrostatically suspended gyroscope
  • ISSN号：0013-5194
  • 期刊名称：Electronics Letters
  • 时间：2011.8.8
  • 页码：976-U57
  • 相关项目：超磁致伸缩固体振子MEMS微陀螺的研究
作者： Cui, F.|Liu, W.|Chen, W. -Y.|Zhang, W. -P.|Wu, X. -S.|
同期刊论文项目
超磁致伸缩固体振子MEMS微陀螺的研究
期刊论文 6 会议论文 1 专利 2
同项目期刊论文
Investigation on removal of SU-8 electroplating mould using fuming sulphuric acid
Modal analysis of a new solid micro-gyroscope with bulk giant magnetostrictive material (GMM) resona
Design, Fabrication and Levitation Experiments of a Micromachined Electrostatically Suspended Six-Ax
Modal FEM analysis using weak form equations for a microgyroscope with bulk giant magnetostrictive m
非硅MEMS电容式微加速度计的测控电路设计