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亚10μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定
  • ISSN号：1002-2082
  • 期刊名称：应用光学
  • 时间：2014
  • 页码：311-315
  • 相关项目：高功率消相干均束化的新型光刻用固态激光源研究
作者： 雷亮|李浪林|袁炜|刘新|周金运|
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期刊论文 27
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期刊信息
  • 《应用光学》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国兵器工业集团公司
  • 主办单位:中国兵工学会 中国兵器工业第二零五研究所
  • 主编：纪明
  • 地址：西安市电子城电子三路西段9号
  • 邮编：710065
  • 邮箱：yygx205@163.com
  • 电话：029-88288172
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-2082
  • 国内统一刊号：ISSN：61-1171/O4
  • 邮发代号:52-245
  • 获奖情况:
  • 中国科学引文数据库来源期刊,中国学术期刊综合评价数据库来源期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:7309