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A 45 Element Continuous Face-sheet Surface Micromachined Electrostatically Actuated MEMS Deformable
  • ISSN号：2158-3226
  • 期刊名称：AIP Advances
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 相关项目：多壁碳纳米管传感器的自组装研究
作者： Weimin Wang|Fangrong Hu|Qiang Wang|Chuankai Qiu|Zexiang Chen|Jun Yao|
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