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Segmented magnetic circuit simulation of the large displacement planar micro-coil actuator with encl
ISSN号:0167-9317
期刊名称:Microelectronic Engineering
时间:2014.11.5
页码:38-45
相关项目:微机械电磁继电器动致锁定机理及其应用基础研究
作者:
戴旭涵|黄奕|丁桂甫|赵小林|
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