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A novel fast and low cost replication technology for high-aspect-ratio magnetic microstructures
ISSN号:0946-7076
期刊名称:Microsystem Technologies
时间:2013.3
页码:403-407
相关项目:微机械电磁继电器动致锁定机理及其应用基础研究
作者:
Dai, Xuhan|Miao, Xiaodan|Shao, Guocheng|Wang, Wanjun|
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