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一种用扫描电镜制作表面纳米结构的方法
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：《半导体学报：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构：[1]云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 贵研铂业股份有限公司,昆明,650221 云南大学物理系,昆明,650091
  • 相关基金：国家自然科学基金(批准号:60261004,60361001,10664006),云南省自然科学基金(批准号:2002E0008M)和北京市传感器重点实验室开放课题(批准号:66062022)资助项目
作者： 朱念麟[1], 张晋[1], 陈尔纲[1], 柏晗[1], 张茜[1], 王光灿[1], 郭俊梅[1], 窦菊英[1]
关键词： 数字式扫描电镜, 负电压发生器, 表面纳米阵列, 电子束刻蚀
中文摘要：

提出了一种用扫描电镜制作表面量子点、纳米孔和纳米线阵列的方法,该方法是在数字式扫描电镜的阴极自偏压电路中串联一个可控的负电压发生器,其内阻远小于自偏压电阻;用扫描电镜本身的行扫描时钟信号作为控制信号,经倍频和放大,加到电子枪栅极上控制电子束的通断,使电子束由连续扫描变为规则的点、线扫描,不需用模板即可以"直写"方式在涂有电子束光刻胶(PMMA)的样品上实现点、线曝光,形成周期性量子点、纳米孔和纳米线阵列.

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期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754