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扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构的研究
  • ISSN号:1000-6281
  • 期刊名称:《电子显微学报》
  • 时间:0
  • 分类:TH742[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械] TG115.215.7[金属学及工艺—物理冶金;金属学及工艺—金属学]
  • 作者机构:[1]北京航空航天大学理学院,北京100083
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(No.10427401).
中文摘要:

介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD—R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基本工作原理和检测方法,并给出了具体的实验结果。

英文摘要:

Introduced a kind of home made scanning near field acoustic microscope (SNAM)combined ultrasonic detection technology and scanning probe microscopy. The piezoelectric transducer in the SNAM is used as ultrasonic signal generator, and the cantilever worked in contact mode. The SNAM image from the top surface of CD-R film agrees with the atomic force microscope (AFM) from the back surface. The working principle and detection method was also given in this paper.

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期刊信息
  • 《电子显微学报》
  • 中国科技核心期刊
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  • 主办单位:中国物理学会
  • 主编:张 泽
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  • 邮编:100190
  • 邮箱:dzxwxb@blem.ac.cn
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  • 国际标准刊号:ISSN:1000-6281
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2295/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 曾获《中国科技论文统计源期刊(中国科技核心期刊)》,《中国科学引文数据库(核心库)》来源期刊,中国自然科学核心期刊(无线电电子学、电信技术类...
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6569