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原子力显微镜图像小波去噪方法的研究

期刊名称：电子显微学报
时间：0
页码：135-140
语言：中文
分类：TP391.41[自动化与计算机技术—计算机应用技术;自动化与计算机技术—计算机科学与技术] TG115.23[金属学及工艺—物理冶金;金属学及工艺—金属学]
作者机构：[1]北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191, [2]北京航空航天大学理学院,北京100191
相关基金：国家自然科学基金专项基金（No.10427401）和国家重点基础研究发展计划（973计划）（2007CB936503）资助.
相关项目：纳米显微光学检测方法和成像系统的研究

关键词：小波变换, 原子力显微镜, 数字图像处理, 噪声, 方差估计, wavelet transform , atomic force microscope （AFM） , digital image processing, noise , variance estimation

中文摘要：

将小波阈值收缩去噪技术应用于原子力显微镜图像处理中,着重对阈值确定过程中阈值修正算法及阈值函数选取进行了讨论,对比了各种方法的优缺点,针对噪声较大的原子力显微镜图像,提出一种改进的修正阈值滤波方法,并给出了具体算法。采用原子力显微镜扫描的光盘膜图像对所提算法进行了实验研究,对采用不同阈值及阈值函数获得的结果进行了对比。该结果验证了所提方法的有效性。

英文摘要：

Wavelet-shrinkage-based image denoising technique was applied to noisy images obtained by an atomic force microscope （AFM）. Emphasis was made on the selection of and evaluation on the threshold modifier and threshold function. A modified thresholding method was proposed for denoising AFM images that were of higher level of noise. The corresponding algorithm was given. A typical AFM image of a CD surface was employed to evaluate the performance of the modified method. The results were presented and discussed in detail. Experimental results showed that the modified method performed well in denoising of atomic force microscopic images.