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电感耦合等离子体离子注入内表面的数值仿真研究
  • 期刊名称：真空. 2010, 47(4)
  • 时间：0
  • 相关项目：微小电感耦合射频等离子体细长管筒内表面离子注入新技术及应用研究
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微小电感耦合射频等离子体细长管筒内表面离子注入新技术及应用研究
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