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凹模内腔等离子体离子注入数值仿真(I)脉冲宽度效应
  • 期刊名称：真空科学与技术学报. 2010, 6, doi:10.3969/j.issn.1672-7126.
  • 时间：0
  • 相关项目：微小电感耦合射频等离子体细长管筒内表面离子注入新技术及应用研究
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微小电感耦合射频等离子体细长管筒内表面离子注入新技术及应用研究
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