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适用于MEMS动态测量的显微激光多
  • 期刊名称：光电子激光，Vol.15，No.11，pp1357～1360，2004年11月
  • 时间：0
  • 相关项目：基于隧道效应的纳米级振动传感器的研究
作者： 傅星、刘昀强、胡晓东、栗大超、
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