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Effect of die attachment on key dynamical parameters of micromachined gyroscopes
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：2012.1.25
  • 页码：507-513
  • 相关项目：基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究
作者： Xuezhong Wu|Jianbin Su|Zhihua Chen|Xu Zhang|
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