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Out-of-plane micro-force function generator based on polymeric thermal actuators for modifying micro
  • ISSN号：0003-6951
  • 期刊名称：Applied Physics Letters
  • 时间：2013.10.7
  • 页码：-
  • 相关项目：基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究
作者： Xiao, Dingbang|Wu, Xuezhong|Hou, Zhanqiang|Chen, Zhihua|
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