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Structural improvement in resonant silicon sensors to sub-ppm/degrees C temperature coefficient of r
  • ISSN号：1932-5150
  • 期刊名称：Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems
  • 时间：2014.3
  • 页码：-
  • 相关项目：基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究
作者： Wu, Xuezhong|Xiao, Dingbang|Chen, Zhihua|Su, Jianbin|
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