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Influence of oxygen plasma treatment on properties of ZrO2 films prepared by e-beam evaporation tech
  • ISSN号:0038-1098
  • 期刊名称:Solid State Communications
  • 时间:0
  • 页码:22-24
  • 语言:英文
  • 相关项目:应用离子后处理技术提高薄膜激光损伤阈值基础研究
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