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Influence of substoichiometer on the laser-induced damage characters of HfO2 thin films
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:0
  • 页码:4646-4649
  • 语言:英文
  • 相关项目:应用离子后处理技术提高薄膜激光损伤阈值基础研究
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