位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
用于大面积周期性图形制造的激光干涉光刻
  • 期刊名称：光电工程
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：Vol.28,No.6,20-23
  • 语言：中文
  • 相关项目：无掩模激光干涉光刻研究
作者： 张锦|冯伯儒|郭永康|蒋世磊|宗德蓉|等|
同期刊论文项目
无掩模激光干涉光刻研究
期刊论文 8 会议论文 8
同项目期刊论文
提高光刻图形质量的双曝光技术
无掩模激光干涉光刻技术研究
红外可调声光滤光器的设计和特性分析
制作光纤光栅的相移掩模-双光束干涉曝光方法
四激光束干涉光刻制造纳米级孔阵的理论分析
波前分割无掩模激光干涉光刻的实现方法研究
振幅分割无掩模激光干涉光刻的实现方法研究