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静电谐波微电机的非线性动力学
  • 期刊名称:燕山大学; 上海微电子装备有限公司
  • 时间:0
  • 页码:1-7
  • 语言:中文
  • 相关项目:机电集成静电谐波微型传动系统
作者: 秦磊|许立忠|
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