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垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟
  • ISSN号:1002-1582
  • 期刊名称:光学技术
  • 时间:0
  • 页码:-
  • 分类:TH742[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构:[1]华中科技大学机械科学与工程学院,武汉430074
  • 相关基金:国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ160013);国家自然科学基金资助项目(51075169,50975112)
  • 相关项目:一种新型角膜微变形测量系统及关键理论与技术研究
中文摘要:

提出一种垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟方法。该方法考虑到白光光源光谱分布及垂直扫描干涉系统对白光干涉信号的影响,通过正弦函数多项式拟合的方式减少模拟算法的运算量,消除了现有方法中数值积分运算量大,不便于实际分析的缺点。采用白光LED作为光源,用该方法对白光干涉信号进行模拟分析,并用直接数值积分信号模拟结果与白光干涉垂直扫描测量装置获得的实测信号进行对比,验证了该方法的准确性。

英文摘要:

A computationally efficient method is presented to simulate the interference signal for vertical scanning in- terferometry. The existing models are either over-simplified or computational intensive, which are not practical for actual analysis. The proposed method takes the light source spectrum and interference setting impact into consideration. It elim- inates the heavy computation burden produced by numerical integration by modeling the light spectrum as a sum of sin functions. To verify the accuracy of the method, experiments on the vertical scanning interferometry based on white light LED are conducted. The experimental datum and results are contrasted by direct numerical integration method.

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期刊信息
  • 《光学技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:国防科工委
  • 主办单位:中国兵工学会 北京理工大学 中国北方光电工业总公司
  • 主编:夏阳
  • 地址:北京海淀中关村南大街5号
  • 邮编:100081
  • 邮箱:gxjs@bit.edu.cn
  • 电话:010-68913628 68948720
  • 国际标准刊号:ISSN:1002-1582
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1879/O4
  • 邮发代号:2-830
  • 获奖情况:
  • 中国兵器工业总公司优秀期刊一等奖,首届国防科工委优秀期刊二等奖,美国工程索引(EI)对本刊论文的收录率为87%
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:12855