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Ordered Metal Film Pattern with Submicron Period
ISSN号:0021-4922
期刊名称:Japanese Journal of Applied Physics
时间:0
页码:090208-1-090208-3
语言:英文
相关项目:全新纳米无掩模光刻研究
作者:
Sihai Cao|Chuanfei Guo|Qian Liu|Yong Xie|Zhuwei Zhang|Lifeng Bai|
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