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极紫外多层膜基底表面粗糙度综合
  • 期刊名称：光学仪器，2006，28（4）：137-140，广州，2006年9月
  • 时间：0
  • 相关项目：软X射线透射式多层膜偏振光学元件研究
作者： 张淑敏，朱京涛，王风丽，张众，
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软X射线透射式多层膜偏振光学元件研究
期刊论文 31 会议论文 7
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