位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
C/W多层膜的制备及其光学特性
  • 期刊名称：真空科学与技术学报，2005, 25（5），385-387
  • 时间：0
  • 相关项目：软X射线透射式多层膜偏振光学元件研究
作者： 王风丽(，王占山，王洪昌，吴文
同期刊论文项目
软X射线透射式多层膜偏振光学元件研究
期刊论文 31 会议论文 7
同项目期刊论文
亚四分之一波长宽波段多层膜的设
B4C/Mo/Si high reflectivity mu
Determination of Tungsten Laye
Research of multilayers in EUV
Extreme-ultraviolet broadband
W／B4C、W／C、W／Si多层膜的研
磁控溅射材料沉积速率的定标方法
Broadband Mo/Si multilayer ana
极紫外多层膜基底表面粗糙度综合
窄带Mo／Si多层膜反射镜
类镍钽软X射线激光用多层膜反射
13．9nm软X射线激光用大面积多层
Broad angular multilayer analy
Broadband multilayer polarizer
4.48nm正入射软X射线激光用Cr/C
水窗波段反射式偏振光学元件的设
软X射线多层膜透射式起偏器和检
Broadband Mo/Si multilayer tra
最小膜层厚度对X射线非周期多层
Investigation of ultra-short-p
Determination of the depositio
50～110nm波段高反射率多层膜的设计与制备
极紫外多层膜基底表面粗糙度综合表征技术
最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响
Investigation of nanometer-scale films using low angle X-ray reflectivity analysis in IPOE
类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制
亚四分之一波长宽波段多层膜的设计
用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性