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Effect of O-2 partial pressure and substrate temperature on the plasma emission spectra and ZnO grow
  • ISSN号：1862-6300
  • 期刊名称：Physica Status Solidi A-Applications and Materials
  • 时间：0
  • 页码：961-964
  • 语言：英文
  • 相关项目：反应活性等离子体对功能薄膜的生长行为和薄膜质量的影响
作者： Zhang, Q. Y.|Liu, M.|Ma, C. Y.|
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期刊论文 32 会议论文 4
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